近日，在第二十七届高校分析测试中心研究会年会暨第三届中国分析测试协会高校分析测试分会年会中，举行2023年度优秀科研仪器案例入选证书颁发仪式。我校分析测试中心严楷老师、杨春晓老师投稿案例双双获评“科研仪器案例库优秀案例”，被《科研仪器案例库》收录。

自2021年起中国科协开始建设案例库，2023年中国仪器仪表学会联合高校分析测试分会、仪器信息网共同对高校分会会员单位的论文和视频案例进行遴选。高校分析测试分会学术奖励评审委员会从选题意义、内容与结构、推广与应用、写作与形式四个方面，对投稿案例进行评审，经过形式审查、函评，遴选出入选中国科协优秀案例30个，入选中国仪器仪表学会案例库64个。

物性与表面分析室严楷老师

光谱分析室杨春晓老师

广工分析测试中心作为面向学校和社会开放的大型仪器设备共享服务平台，为我校化工、材料、环境、机电、物理、生物、土木等多个重点学科提供高水平测试服务和测试方法研究。此次获奖，是对中心测试服务水平和人员业务能力的高度认可，未来，中心将持之以恒地秉承“一流的仪器、一流的管理、一流的团队、一流的服务”的宗旨，坚持以服务为本，为学科建设服务提供优质的测试分析、方法开发以及大型仪器操作人员培训服务，全力支撑学校“1+2+3”攀撑计划学科提升工程建设任务的开展。

获奖案例介绍：

1.《薄膜半导体材料环境失效的准原位XPS分析方法》

原位及准原位X射线光电子能谱（X-ray photoelectron spectroscopy，XPS）分析技术不仅广泛应用于多相催化研究领域，而且能够应用于薄膜半导体材料及器件的可靠性测试和评估研究领域。本案例结合微电子行业以及军工领域相关电子元器件应用的需求，以实际生产中的薄膜半导体样品作为分析对象，通过已搭建的原位光照系统、准原位高温气体反应系统以及更多互联装置能够实现多类环境失效因素的模拟，也可通过互联磁控溅射等样品制备装置实现原位样品制备。结合XPS角分辨深度分析、离子刻蚀深度分析、紫外光电子能谱分析等测试技术能够科学性、系统性地分析薄膜半导体材料环境失效的早期失效行为与失效机理。建立薄膜半导体相关材料及器件环境失效的准原位分析方法，将对为提高薄膜半导体材料及器件的可靠性、完善和开发材料体系、降低对国外先进方法和技术的依赖起到积极推动的作用。 

2.《多位存储式TG-DSC/FTIR/GC-MS联用系统原理及测试方案设计》

并联式热重及同步热/红外/气质联用系统（TG-DSC/FTIR/GC-MS）是目前最前沿的材料热稳定性、反应性及逸出气体（EGA）的定性及定量分析的高效精准原位测试手段之一，其将热重及同步热分析仪（TG-DSC）、红外光谱仪（FTIR）和气相色谱质谱仪（GC-MS）进行并联式搭建：热重及同步热提供热物性信息；红外光谱实时分析逸出气体化合物信息；气相色谱质谱可通过存储模式或连续模式分析典型温度点逸出气体结构信息；从而使热效应与分子特性、结构和材料组成信息相关联，为剖析样品组分，探讨裂解机理，未知物的定性，已知物的监控，提供强有力的表征手段。“多位存储式TG-DSC/FTIR/GC-MS联用系统原理及测试方案设计”从实际测试案例出发，介绍了该联用系统的工作原理，开展测试方案设计的思路与经验,以及在典型应用中的解决方案。已为校内外超过30多个科研团队的多个相关课题研究提供测试技术支撑，近三年已发表SCI论文60余篇。