6月13日，广东工业大学半导体微纳加工研发及服务平台揭牌仪式暨集成电路学科高峰论坛在大学城校区理学馆举行。学校党委副书记、校长邱学青，华润微电子有限公司副总裁段军，来自华润微电子研究院、中国科学技术大学微电子学院、中山大学电子与信息工程学院、香港科技大学微电子学院、深圳大学集成电路学院的相关负责人、专家教授，以及学校资产与实验室管理处、先进技术处、总务处、自动化学院、信息工程学院、物理与光电工程学院等单位负责人出席活动，集成电路学院师生代表等百余人参加活动。

邱学青指出，在当今广东深入推进“广东强芯”工程的关键时期，广工作为省属理工科高校的“排头兵”，始终坚持“与广东崛起共成长、为广东发展作贡献”的办学理念，肩负起时代赋予的重任。他表示，此次半导体微纳加工研发及服务平台的建成启用，正是学校服务国家战略和区域发展的关键举措。平台将聚焦芯片制造关键环节，贯通人才培养、科研创新与产业服务全链条，致力为粤港澳大湾区打造集成电路产业高地输送更多拔尖创新人才、贡献广工力量。

仪式上，邱学青与嘉宾代表共同为半导体微纳加工研发及服务平台揭牌，标志着这一服务国家战略的重大平台正式启用。揭牌仪式结束后，与会嘉宾到平台核心加工区参观，了解平台整体规划布局、管理模式以及人才培养支撑体系。

高峰论坛专家报告环节，与会专家作了高水平的学术报告。中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）院长佘峻聪以电子束技术前沿为主题，系统介绍了电子束技术在集成电路核心装备领域的最新研究进展，并重点展示了电子源芯片在微纳集成加工与发射性能优化方面的阶段性突破，对未来应用研发路径提出了深刻思考。华润微电子研究院院长杨华胜结合多年半导体行业深耕经验，对产业发展趋势进行了深入剖析，他聚焦后摩尔时代中国半导体面临的制程瓶颈与国产化替代机遇，分享了华润微电子以“双核一力”战略推动创新的实践路径。

据悉，广东工业大学半导体微纳加工研发及服务平台获批“2024年广东省重点工程”，配备光刻机、电子束蒸发、刻蚀系统等行业尖端设备，具备基于6英寸晶圆全流程制造能力。此次启用的半导体微纳加工研发及服务平台，将有效补齐大湾区内集成电路微纳加工领域公共技术服务平台的短板，进一步助推学校在集成电路人才培养、科技创新和产业服务方面迈上新台阶。